Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis.

 Taschenbuch
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ISBN-13:
9783839609026
Einband:
Taschenbuch
Erscheinungsdatum:
03.03.2016
Seiten:
224
Autor:
Robert Külls
Gewicht:
328 g
Format:
205x147x17 mm
Serie:
28 28, Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik Epsilon - Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik
Sprache:
Deutsch
Beschreibung:
In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.

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