Propiedades de películas delgadas de IZO impurificado con nitrógeno

Efecto del nitrógeno en las propiedades físicas del IZO
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ISBN-13:
9783330097285
Einband:
Paperback
Erscheinungsdatum:
18.02.2018
Seiten:
108
Autor:
Claudia Rafela Escobedo Galván
Gewicht:
177 g
Format:
220x150x6 mm
Sprache:
Spanisch
Beschreibung:
En el presente trabajo, se hace la caracterización óptica y eléctrica con la técnica de Elipsometría Espectral, de películas delgadas de IZO impurificadas con nitrógeno. Estas películas pertenecen a la familia de óxidos conductores transparentes (TCO's), en donde una de sus cualidades es que son materiales con alta transparencia en las regiones de infrarrojo cercano, visible y ultravioleta; teniendo las características de baja resistividad eléctrica, buena movilidad y alta concentración de portadores de carga libres. Para depositar las películas de óxido de zinc e indio (IZO) dopado con nitrógeno, se utilizó la técnica de pulverización catódica reactiva asistida por radiofrecuencia. Esta técnica es altamente reproducible y tiene un alto control en la incorporación de las impurezas.

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